Название: Физика и технология источников ионов Автор: Браун Я. Издательство: Мир Год: 1998 Формат: pdf Страниц: 483 Размер: 154.8 Мб Язык: русский
Для специалистов в области физики и технологии ионных источников, радиационного материаловедения, микроэлектроники, физической электроники, физики плазмы, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей.