![](/uploads/posts/2018-12/thumbs/1543893977_aa_0001.jpg)
Автор: Парфенов О.Д.
Издательство: Высшая школа
Год: 1977
Формат: pdf
Страниц: 255
Размер: 10,9 Mb
Язык: Русский
В книге рассмотрены: технология полупроводниковых интегральных микросхем (диффузии, эпитаксия, пассивация, межсоединения, фотолитография); технология гибридных пленочных микросхем (физические основы и техника термического вакуумного напыления, активные и пассивные тонкопленочные элементы, методы контроля тонкопленочных элементов в процессе напыления, распыление ионной бомбардировкой, технологические особенности толстопленочных микросхем); сборка микросхем (монтажно-сборочные операции, крепление подложек и кристаллов, герметизация).
![](/templates/Mirlib/images/MirLib.png)
[related-news] [/related-news]
Комментарии 0
Комментариев пока нет. Стань первым!