Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники » MIRLIB.RU - ТВОЯ БИБЛИОТЕКА
Категория: КНИГИ » УЧЕБНАЯ ЛИТЕРАТУРА
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники
/

Название: Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники
Автор: Гаврилов С.А., Белов А.Н.
Издательство: М. : Высш. образование
Год: 2009
Формат: pdf
Страниц: 258
Размер: 11 mb
Язык: Русский

Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической! кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.





ОТСУТСТВУЕТ ССЫЛКА/ НЕ РАБОЧАЯ ССЫЛКА ЕСТЬ РЕШЕНИЕ, ПИШИМ СЮДА!





[related-news]
[/related-news]
Комментарии 0
Комментариев пока нет. Стань первым!