Категория: КНИГИ » ПРОФЕССИИ И РЕМЕСЛА
Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники
/

Название: Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники
Автор: Джоветт Ч.Е.
Издательство: Москва: Металлургия
Год: 1980
Формат: pdf/djvu
Страниц: 112
Размер: 11 mb
Язык: русский

В книге изложены принципы создания микроэлектронных устройств на основе различных технологических процессов нанесения тонких и толстых пленок. Исходя из современной практики их изготовления, проведен сравнительный анализ особенностей технологии производства тонких и толстых пленок, тонкопленочных микроволновых устройств, рассмотрены возможности, которые открывает использование гибридных элементов толстопленочных схем; обсуждены вопросы металлургической совместимости материалов, из которых изготовлены эти элементы. Кроме того, описаны типы многослойных разводок и техника их получения, процессы формирования толстопленочных резистивных структур, а также ряд других вопросов.

Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области производства тонких и толстых пленок для микроэлектроники, разработки и производства гибридных интегральных микросхем, а также для студентов старших курсов соответствующих специальностей.







Комментарии 0
Комментариев пока нет. Стань первым!
Информация

Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.