Название: Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6
Автор: Минайчев В.Е.
Издательство: Высшая школа
Год: 1989
ISBN: 5-06-000308-6
Страниц: 111
Формат: DjVu, PDF
Размер: 10,3 МБ
Язык: Русский
Рассмотрены вопросы нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности.
[related-news] [/related-news]
Комментарии 0
Комментариев пока нет. Стань первым!