Плазменная технология в производстве СБИС PDF » MIRLIB.RU - ТВОЯ БИБЛИОТЕКА
Регистрация
Amphibian Amphibian Зайка-зазнайка Зайка-зазнайка Джулькино детство Джулькино детство Солдатский подвиг Солдатский подвиг Почему ты шинель бережёшь? Почему ты шинель бережёшь? Домовёнок Кузька (2013) Домовёнок Кузька (2013) Luftwaffe Fighters 1935-1945 Luftwaffe Fighters 1935-1945 Catalonia: A New History (Routledge Studies in Modern European History) Catalonia: A New History (Routledge Studies in Modern European History) Liberating Libya: British Diplomacy and War in the Desert Liberating Libya: British Diplomacy and War in the Desert The Ultimate Pescatarian Cookbook for Beginners The Ultimate Pescatarian Cookbook for Beginners Persecution and Rescue: The Politics of the “Final Solution” in France, 1940-1944 Persecution and Rescue: The Politics of the “Final Solution” in France, 1940-1944 Чернобыль. Неизвестные подробности катастрофы Чернобыль. Неизвестные подробности катастрофы Вклад курчатовцев в ликвидацию последствий аварии на Чернобыльской АЭС Вклад курчатовцев в ликвидацию последствий аварии на Чернобыльской АЭС Чернобыль «ДСП». Последствия Чернобыля Чернобыль «ДСП». Последствия Чернобыля Полная энциклопедия спины и суставов: традиционные и инновационные методы лечения Полная энциклопедия спины и суставов: традиционные и инновационные методы лечения Занимательная астрономия. Вселенная (Манга) Занимательная астрономия. Вселенная (Манга)
Amphibian Amphibian Зайка-зазнайка Зайка-зазнайка Джулькино детство Джулькино детство Солдатский подвиг Солдатский подвиг Почему ты шинель бережёшь? Почему ты шинель бережёшь? Домовёнок Кузька (2013) Домовёнок Кузька (2013) Luftwaffe Fighters 1935-1945 Luftwaffe Fighters 1935-1945 Catalonia: A New History (Routledge Studies in Modern European History) Catalonia: A New History (Routledge Studies in Modern European History) Liberating Libya: British Diplomacy and War in the Desert Liberating Libya: British Diplomacy and War in the Desert The Ultimate Pescatarian Cookbook for Beginners The Ultimate Pescatarian Cookbook for Beginners Persecution and Rescue: The Politics of the “Final Solution” in France, 1940-1944 Persecution and Rescue: The Politics of the “Final Solution” in France, 1940-1944 Чернобыль. Неизвестные подробности катастрофы Чернобыль. Неизвестные подробности катастрофы Вклад курчатовцев в ликвидацию последствий аварии на Чернобыльской АЭС Вклад курчатовцев в ликвидацию последствий аварии на Чернобыльской АЭС Чернобыль «ДСП». Последствия Чернобыля Чернобыль «ДСП». Последствия Чернобыля Полная энциклопедия спины и суставов: традиционные и инновационные методы лечения Полная энциклопедия спины и суставов: традиционные и инновационные методы лечения Занимательная астрономия. Вселенная (Манга) Занимательная астрономия. Вселенная (Манга)
Категория: КНИГИ » ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Плазменная технология в производстве СБИС PDF
Добавил: In32s / 23-10-2017, 08:26 /


Название: Плазменная технология в производстве СБИС PDF
Автор: Айнспрук Н. Браун Д.
Издательство: Москва, МИР
Год: 1987
Страниц: 471
Формат: PDF
Размер: 70,0 МБ
Язык: Русский

Книга ведущих специалистов из США и Японии, в которой рассмотрены вопросы физики, химии и технологии применения плазменной обработки в производстве СБИС.
Это своеобразная энциклопедия по физики, химии процессов осаждения, литографии и травления с применением ионно плазменных методов.
Книга предназначена для специалистов в области физики и химии плазмы, технологии микроэлектроники, а также для студентов соответствующих специальностей.
В книге рассмотрены вопросы напыления тонких пленок различных соединений. Достаточно подробно рассмотрены вопросы химического и плазмохимического осаждения тонких диэлектрических пленок, в том числе нитрида и оксида кремния. Описаны физические и химические процессы реактивного и ионного травления, особое внимание уделено технологическим аспектам процессов производства СБИС.




[related-news]

Похожие публикации

    {related-news}
[/related-news]
Комментарии 0
Комментариев пока нет. Стань первым!